研究分野

研磨加工、レーザ加工、生産管理

学位

博士 （工学）

経歴

日立製作所生産技術研究所主任研究員、日立ビアメカニクス開発本部グループリーダ、新潟大学大学院技術経営研究科特任教授を経て、2021年4月より現職。

外部機関の委員等

砥粒加工学会会誌編集委員会委員（2005年10月～2006年9月）

所属学会

Society of Manufacturing Engineers 会員、精密工学会、砥粒加工学会、科学技術と経済の会、日本MOT学会

受賞歴

• 日立製作所生産技術研究所　技術賞２等　受賞　1991年12月
• 日立製作所生産技術研究所　特別賞　受賞　2000年12月
• 日立製作所生産技術研究所　技術賞　受賞　2001年12月
• 日立製作所生産技術研究所　知的所有権賞　受賞　2001年12月
• 日立製作所　モノづくり技術賞　受賞　2002年12月
• 日立製作所生産技術研究所　事業所技術賞　受賞　2007年12月

論文発表・掲載情報

論文

• GaAsウエハ鏡面研磨加工の基礎検討　砥粒加工学会誌 47 No2(2003) pp.30-34.（共著）
• Improvement of Pad Life in Mirror Polishing for GaAs Wafers　JSME International Journal Series C,vol. 47 No.1(2004) pp.98-104.（共著）
• 研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究　新潟大学大学院自然科学研究科，博士論文（2005年3月）
• ウエハ研磨加工における研磨レート低下挙動の解明　精密工学会誌 72 No.4(2006) pp.517-522.（共著）
• 経営安定化を目的とした製造不良の改善、新潟大学大学院技術経営科修士論文(2019年3月)（共著）
  
  

著書

• メカノケミカルポリシング（ＣＭＰ）の基礎と実例（ポリシングパッド編）グローバルネット（1995年12月）（共著）
• CMPによる層間膜の平坦化、砥粒加工学会誌 vol. 42 No11(1998) pp.9-12.（単著） 
  
  

学会発表

• 研磨パッドの表面状態がCMPの研磨能率に及ぼす影響、1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1998) p.201.　共同（主担当）会議名：1998年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所：明治大学，川崎市
  
  
• 研磨圧力分布の補正によるCMPの研磨量均一性の改善、2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2000) p.153.　共同（主担当） 会議名：2000年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所：東京電機大学，東京都千代田区
  
  
• 薄膜磁気ヘッドのCMPの検討、2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2001) p.500.　共同（主担当）会議名：2001年度精密工学会春季大会学術講演会開催場所：東京都立大学，八王子市
  
  
• GaAsウエハの鏡面研磨加工の基礎検討、2001年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集(2001) pp.381-386.　共同（主担当）会議名：2001年度砥粒加工学会学術講演会開催場所：金沢大学，石川県野々市町
  
  
• GaAsウエハ加工欠陥の生成・低減のメカニズム、第63回応用物理学会学術講演会講演論文集(2002) p.1225.　共同（主担当）会議名：第63回応用物理学会学術講演会開催場所：新潟大学，新潟市
  
  
• Improvement of Pad Life in Mirror Polishing for GaAs Wafers、JSME International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21 st Century(2003) pp.21-26.　共同（主担当） 開催場所：朱鷺メッセ，新潟市
  
  
• ポリシングパッドから見た研磨特性の劣化挙動の評価、2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(2004) pp.405-406.　共同（副担当）会議名：2004年度精密工学会秋季大会　開催場所：島根大学，松江市
  
  
• GaAs半導体材料の鏡面研削機構の研究 (第4報)切削溝の間隔がクラック発生に及ぼす影響、2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集(2005) pp.857-858.　共同（副担当）会議名：2005年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所：慶応大学、横浜市
  
  
• GaAs半導体材料鏡面研削機構の研究(第5報)－圧子押込みにおけるき裂の発生メカニズム－、2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集(2005) pp.859-860.　共同（副担当）会議名：2005年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所：慶応大学，横浜市

 

担当授業等

技術マネジメント論、プロジェクト演習Ⅰ、プロジェクト演習Ⅱ、プロジェクト演習Ⅲ、プロジェクト演習Ⅳ、産学連携実習Ⅰ、産学連携実習Ⅱ、プロトタイピング演習、安全管理技術論、ものづくり戦略QCDF、卒業研究Ⅰ、卒業研究Ⅱ

研究室

技術マネジメント研究室

技術を顧客価値に結びつけ、収益につなげるためには、技術のマネジメントが重要です。本研究室では、企業における価値創造に貢献する技術マネジメント能力のある技術者を育成します。電子部品等の超精密加工における加工のメカニズム、加工の安定、加工偏差の発生要因不良の解析などイノベーションを創生する研究をとおして、技術のマネジメントを追求します。

講演・セミナーほか

2021年11月　知的ものづくりセミナー講師　テーマ：研磨を極めること