教授|博士(工学)

大川 哲男

Tetsuo Okawa

担当科目

技術マネジメント論/プロジェクト演習Ⅰ/プロジェクト演習Ⅱ/プロジェクト演習Ⅲ/プロジェクト演習Ⅳ/産学連携実習Ⅰ/産学連携実習Ⅱ/プロトタイピング演習/安全管理技術論/ものづくり戦略QCDF/卒業研究Ⅰ/卒業研究Ⅱ

研究キーワード

超精密研磨加工/半導体/CMP/機能性表面/技術マネジメント

経歴日立製作所生産技術研究所主任研究員、日立ビアメカニクス開発本部グループリーダ、新潟大学大学院技術経営研究科特任教授を経て、2021年4月より現職。
専門・研究分野超精密研磨加工、技術マネジメント
研究室技術マネジメント研究室
研究テーマ・半導体CMPプロセスにおける層間絶縁膜の加工量偏差に及ぼすポリシングパッドの表面状態の適正化の研究
・半導体CMPプロセスにおけるウエハ圧力分布の有限要素シミュレーションの研究
・ポリシングパッド極表面の動的物性評価のためのナノインデンテーション評価装置の開発
・半導体CMPプロセスにおけるポリシングパッド表面の加工残渣がウエハ/研磨スラリー/ポリシングパッド摺動系のトライボロジー特性に及ぼす影響の研究
・先端研磨加工技術による価値獲得を指向した特許戦略マネジメントの研究

研究情報

所属学会

Society of Manufacturing Engineers 、精密工学会、砥粒加工学会、科学技術と経済の会

研究イメージ

(原稿なし)

研究業績

論文リスト

  • GaAsウエハ鏡面研磨加工の基礎検討 砥粒加工学会誌 47 No2(2003) pp.30-34.(共著)
  • Improvement of Pad Life in Mirror Polishing for GaAs Wafers JSME International Journal Series C,vol. 47 No.1(2004) pp.98-104.(共著)
  • 研磨レート安定化によるCMP加工精度向上に関する研究 新潟大学大学院自然科学研究科,博士論文(2005年3月)
  • ウエハ研磨加工における研磨レート低下挙動の解明 精密工学会誌 72 No.4(2006) pp.517-522.(共著)
  • 経営安定化を目的とした製造不良の改善、新潟大学大学院技術経営科修士論文(2019年3月)(共著)

書籍

  • メカノケミカルポリシング(CMP)の基礎と実例(ポリシングパッド編)グローバルネット(1995年12月)(共著)
  • CMPによる層間膜の平坦化、砥粒加工学会誌 vol. 42 No11(1998) pp.9-12.(単著)

学会発表

  • 研磨パッドの表面状態がCMPの研磨能率に及ぼす影響、1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1998) p.201. 共同(主担当)会議名:1998年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所:明治大学,川崎市
  • 研磨圧力分布の補正によるCMPの研磨量均一性の改善、2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2000) p.153. 共同(主担当) 会議名:2000年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所:東京電機大学,東京都千代田区
  • 薄膜磁気ヘッドのCMPの検討、2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2001) p.500. 共同(主担当)会議名:2001年度精密工学会春季大会学術講演会開催場所:東京都立大学,八王子市
  • GaAsウエハの鏡面研磨加工の基礎検討、2001年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集(2001) pp.381-386. 共同(主担当)会議名:2001年度砥粒加工学会学術講演会開催場所:金沢大学,石川県野々市町
  • GaAsウエハ加工欠陥の生成・低減のメカニズム、第63回応用物理学会学術講演会講演論文集(2002) p.1225. 共同(主担当)会議名:第63回応用物理学会学術講演会開催場所:新潟大学,新潟市
  • Improvement of Pad Life in Mirror Polishing for GaAs Wafers、JSME International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21 st Century(2003) pp.21-26. 共同(主担当) 開催場所:朱鷺メッセ,新潟市
  • ポリシングパッドから見た研磨特性の劣化挙動の評価、2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(2004) pp.405-406. 共同(副担当)会議名:2004年度精密工学会秋季大会 開催場所:島根大学,松江市
  • GaAs半導体材料の鏡面研削機構の研究 (第4報)切削溝の間隔がクラック発生に及ぼす影響、2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集(2005) pp.857-858. 共同(副担当)会議名:2005年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所:慶応大学、横浜市
  • GaAs半導体材料鏡面研削機構の研究(第5報)-圧子押込みにおけるき裂の発生メカニズム-、2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集(2005) pp.859-860. 共同(副担当)会議名:2005年度精密工学会春季大会学術講演会 開催場所:慶応大学,横浜市

受賞

(原稿なし)

地域貢献 / 最近の活動

2021年11月 知的ものづくりセミナー講師 テーマ:研磨を極めること

2022年7月 Science&Technology program for Kids 体験実験「秘密の絵が映る魔鏡をつくろう!」

報道出演 / 掲載

(原稿なし)

プロジェクト

(原稿なし)